HFE滤壳 product photo Primary L

HFE Filter Housing

HFE滤壳用于装入颇尔大流量Emflon®滤芯。其典型应用包括半导体、平板显示器以及光伏制造过程中使用的大量氮气(N2)和压缩干燥空气(CDA)。 • 可装入1或3个滤芯 • 可选508mm(20英寸)或1,016mm(40英寸)长度 • 流量从1,000Nm3/h(588scfm)到20,000Nm3/h(11,770scfm)及以上 • 螺栓封闭件带可选夹具 • 升降吊柱标配3-around滤壳 • 接头为串接“T”型结构 • 可选满足高或标准纯度规格


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描述

HFE滤壳用于装入颇尔大流量Emflon®滤芯。其典型应用包括半导体、平板显示器以及光伏制造过程中使用的大量氮气(N2)和压缩干燥空气(CDA)。 • 可装入1或3个滤芯 • 可选508mm(20英寸)或1,016mm(40英寸)长度 • 流量从1,000Nm3/h(588scfm)到20,000Nm3/h(11,770scfm)及以上 • 螺栓封闭件带可选夹具 • 升降吊柱标配3-around滤壳 • 接头为串接“T”型结构 • 可选满足高或标准纯度规格

规格

 

材料

  • 304L或316L不锈钢
  • 表面处理:电解抛光或清洗,用于处理氧气*
  • <0.25微米(10微英寸)/0.63微米(25微英寸)Ra的内表面处理
  • O型圈密封件:氟橡胶(标配),可按需提供其它选择

接头

  • 80A至400A JIS法兰和对接焊缝接头
  • 2英寸至6英寸ANSI法兰和对接焊缝接头
  • 可按需提供其它选择

工作条件

  • 最大工作压力:
    • 标准压力:100°C时为1.7Mpa(212°F时为250psig)
    • 高压选项:100°C时为2.5Mpa(212°F时为363psig)

认证

  • 欧洲压力设备指令:根据欧盟压力设备指令第97/28/EU号对滤壳合规性进行评估并通过CE认证(请参见CE认证滤壳选项)
  • ASME: 根据ASME标准设计、制造和冲压滤壳(请参见ASME标准冲压滤壳选项)

额定泄漏值

  • 进行100% 10-6 atm•cm3/s的氦气泄漏测试

*装入Emflon过滤器的滤壳不用于处理氧气。

类型

滤壳

用途

过滤

应用

工艺气体过滤、工艺气体过滤、CDA

附加信息

尺寸

1HFE 3HFE
1HFE 3HFE


 

滤芯数

过滤器长度

标称
长度(L

标称
直径(D

1HFE1

1

508mm(20英寸)

1218mm (47.9英寸)

553mm (21.8英寸)

1HFE2

1

1,016mm(40英寸)

1715mm(67.5英寸)

553mm(21.8英寸)

3HFE1

3

508mm(20英寸)

1913mm(75.3英寸)

889mm(35.0英寸)

3HFE2

3

1,016mm(40英寸)

2410mm(94.9英寸)

889mm(35.0英寸)

有关特定滤壳部件编号的详细尺寸,请联系颇尔微电子。

 

订购信息

 

[1] HFE[2] [3] - G[4] [5] [6] [7] [8] - [9] - [10]

表1

代码

每个滤壳的滤芯数

1

1

3

3

表2

代码

过滤器长度

2

508mm(20英寸)

4

1,016mm(40英寸)

表3

代码

材料

4

304L SST

6

316L SST

表4

代码

内表面处理

空白

收货状态

L

0.25μm(10微英寸)Ra

LL

0.63μm(25微英寸)Ra

表5

代码

设计压力

1.7MPa(250psig)

H

2.5MPa(363psig)

表6

代码

接头尺寸和类型

2T

2英寸 x 0.065英寸壁厚对头焊接管

3T

3英寸 x 0.065英寸壁厚对头焊接管

3F

3英寸Sch 40 300# ANSI RFWN法兰

4T

4英寸 x 0.083英寸壁厚对头焊接管

4F

4英寸Sch 40 300# ANSI RFWN法兰

6P

6英寸Sch 40对头焊接管

6F

6英寸Sch 40 300# ANSI RFWN法兰

8P

8英寸Sch 40对头焊接管

8F

8英寸Sch 40 300# ANSI RFWN法兰

表7

代码

描述

1

CE认证

2

ASME第VII节第1部分

3

CE和ASME

表8

代码

选项

空白

电解抛光

C9

O2清洗

表9

代码

O型圈材料

H

FKM-1

H1

包封PTFE的FKM-1

表10

代码

选项

空白

螺栓封闭件

C

夹具型封闭件

 

分类信息

光伏、半导体、显示器、显示器

检查

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