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UltiKleen™ Excellar过滤器和KC总成 product photo Primary L

UltiKleen™ Excellar Filter and KC Assemblies

颇尔UltiKleen Excellar采用半导体行业常用的技术最先进的不去湿全氟聚合物滤材制成。该过滤器专门设计用于处理水性产气化学品（SC-1、SC-2和SPM），这些化学品对晶片清洗至关重要。 UltiKleen Excellar过滤器的不去湿特性使用我们的专有MST（分子表面裁剪）技术实现，该技术可裁剪分子级的表面化学特性。与传统涂装和接枝类方法不同，该方法不会损害化学相容性和纯度。MST的优点是PTFE膜可在强腐蚀性酸、碱和有机化合物中保持可靠性和耐用性。 • 非去湿PTFE膜 • 增加工具正常工作时间 • 全氟聚合物结构 • 全预润湿供货 • 耐高温高压能力 • 极大流量 • 低压差 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试
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描述

颇尔UltiKleen Excellar采用半导体行业常用的技术最先进的不去湿全氟聚合物滤材制成。该过滤器专门设计用于处理水性产气化学品（SC-1、SC-2和SPM），这些化学品对晶片清洗至关重要。 UltiKleen Excellar过滤器的不去湿特性使用我们的专有MST（分子表面裁剪）技术实现，该技术可裁剪分子级的表面化学特性。与传统涂装和接枝类方法不同，该方法不会损害化学相容性和纯度。MST的优点是PTFE膜可在强腐蚀性酸、碱和有机化合物中保持可靠性和耐用性。 • 非去湿PTFE膜 • 增加工具正常工作时间 • 全氟聚合物结构 • 全预润湿供货 • 耐高温高压能力 • 极大流量 • 低压差 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试

规格

构成材质

 

部件

材料

滤材

表面改性PTFE

滤膜背衬

PTFE

内芯/外网罩

PFA

端盖

PFA

密封方法

熔体密封

O型圈（用于滤芯）

包封FEP的氟橡胶

壳体（用于KC型）

PFA

 

滤除精度和使用条件

KC（Kleen-Change®）总成

 

滤除精度

0.05μm

结构

直列式T型流

过滤面积

1.2 m2 12.9 ft2

最高工作温度

170ºC/338 ºF

最大工作压力

0.49MPaG@25°C/71psig@77°F
0.39MPaG@60°C/57psig@140°F
0.34MPaG@90°C/49psig@194°F
0.20MPaG@120°C/29psig@248°F
0.15MPaG@150°C/22psig@302°F
0.12MPaG@170°C/17psig@338°F

 

滤芯

 

滤除精度

0.05μm

结构

ABF1、MRF1

过滤面积

ABF1：1.2m2/12.9ft2
MRF1: 1.1m2 11.8ft2

最高工作温度

170ºC/338 ºF

最大前向压差

50°C时为0.59MPa/120°F时为85psid

 

性能

UltiKleen™ Excellar过滤器

压降与介质流量1（20°C的水）1

Pressure Drop vs. Liquid Flow Rate

1额定流量如果介质粘度不同于水，压降应乘以粘度（厘泊）。
单位换算：1巴=0.1MPa



UltiKleen™ Excellar KC总成

压降与介质流量（20°C的水）1

Pressure Drop vs. Liquid Flow Rate

1额定流量如果介质粘度不同于水，压降应乘以粘度（厘泊）。
单位换算：1巴=0.1MPa

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

化学品、湿法蚀刻和清洗

附加信息

尺寸

UltiKleen™ Excellar过滤器



 

结构

标称滤芯长度

mm

英寸

ABF1

286

11.2

MRF1

264

10.4

 

UltiKleen™ Excellar KC总成


Dimensions

 

符号

标称长度（mm/英寸）

L1

416mm/16.4英寸

L2

281mm/11.1英寸

L3

430mm/16.9英寸

L4

282mm/11.1英寸

L5

180mm/7.1英寸

L6

106mm/4.2英寸

 

订购信息

UltiKleen™ Excellar过滤器

ABF1GP [1] 3EH1 [2]
MRF1GP [1] 25EH1 [2]

表1

 

代码

滤除精度

D

0.05μm

 

表2

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器（包装在去离子水中）

-K7

预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可抽出物2

 

2 可溶出物条件请联系颇尔

UltiKleen™ Excellar KC总成

LDF [1] [2] GP [3] [4] E [5] [6]

表1

 

代码

流量

T

T型流动

N

直列式

 

表2

 

代码

滤芯长度

05

4英寸

1

10英寸

 

表3

 

代码

滤除精度

D

0.05μm

 

表4

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

Memo

头端

滤筒端

6

3⁄3英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式（仅5英寸）

8

1⁄2英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

9

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

直列式

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流动

12

3⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

13

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流/直列式

 

表5

 

代码

接头

0

无接头

1

20系列（Flowell）

2

Super Pillar型（日本Pillar）3

51

喇叭口型

6

FinalLock4

71

Super Pillar 300P系列（日本Pillar）

72

Super Pillar 300P系列L型（日本Pillar）

8

60系列（Flowell）

9

11CR系列（Flowell）

 

表6

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器（包装在去离子水中）

-K7

预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可溶出物5

 
3 Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
4 FinalLock是Kurabo Industries有限公司的商标。
5 可溶出物条件请咨询颇尔。
6 并非始终可提供与所有代码组合使用的部件编号。
请联系颇尔咨询部件编号可用性。

分类信息

半导体、数据存储

检查

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