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PSP密封串联式过滤器 product photo Primary L

PSP Sealed-In-Line Filter

PSP密封串联式系列过滤器总成专为大流量气体过滤工艺而设计。 • 全不锈钢结构 • 颗粒滤留能力强 • 流量极大，压差小 • 耐高温高压 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%通过完整性测试 • 在洁净室中生产和包装
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描述

PSP密封串联式系列过滤器总成专为大流量气体过滤工艺而设计。 • 全不锈钢结构 • 颗粒滤留能力强 • 流量极大，压差小 • 耐高温高压 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%通过完整性测试 • 在洁净室中生产和包装

规格

 

 

材料
  • 滤材：316L不锈钢
  • 外壳：电解抛光316L不锈钢
  • <0.25μm/10微英寸Ra内表面处理
  • 1:1（Cr:Fe）富铬内表面化学
  • 外壳满足或超过VIM/VAR规范要求

滤除精度1
  • 直径≥3nm颗粒的109还原

接头
  • 1⁄2英寸至高达4英寸对头焊接（按需提供其它接头）

结构
  • 标称滤壳直径：64mm（2.5英寸）、102mm（4.0英寸）、168mm（6.6英寸）和219mm（8.6英寸）

预处理
  • 出厂前使用高纯氮气进行预处理

工作条件
  • 最大工作压力：93˚C时为1.72MPa/200˚F时为250psig
  • 最大允许前向压差：20˚C时为0.69MPa/68˚F时为100psid
  • 最大允许反向压差：20˚C时为0.34MPa/68˚F时为50psid

认证
  • 欧洲压力设备指令：组件符合欧盟压力设备指令97/23/EC要求并经过CE认证
  • ASME: 根据美国机械工程师协会（ASME）标准设计、生产和刻印168mm（6.8英寸）和219mm（8.6英寸）直径的总成

额定泄漏值
  • 进行100%10-9 atm•cm3/s的氦气泄漏测试

 

1 颗粒精度根据NaCl气溶胶的实验室试验测定。

性能

压降与气体流量

SILF2

SILF2

SILF4

SILF4

SILF6

SILF6

SILF8

SILF8

类型

总成

用途

过滤

应用

工艺气体过滤

订购信息

尺寸

Dimensions

部件编号/订购信息

 

部件编号

描述

标称直径（D）
（mm/英寸）

标称长度（L）
（mm/英寸）

SILF2201BW12

22英寸管、3⁄4英寸对头焊接

64/2.5

781/30.8

SILF2201BW16

22英寸管、1英寸对头焊接

64/2.5

781/30.8

SILF4201BW16

22英寸管、1英寸对头焊接

102/4.0

826/32.5

SILF4201BW24

22英寸管、11⁄2英寸对头焊接

102/4.0

826/32.5

SILF4201BW32

22英寸管、2英寸对头焊接

102/4.0

826/32.5

SILF6201BW24

22英寸管、11⁄2英寸对头焊接

168/6.6

864/34.0

SILF6201BW32

22英寸管、2英寸对头焊接

168/6.6

864/34.0

SILF8201BW48

22英寸管、3英寸对头焊接

219/8.6

864/34.0

SILF8201BW64

22英寸管、4英寸对头焊接

219/8.6

864/34.0

 

分类信息

半导体、显示器

检查

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