Gasket-Sert™ PSP过滤器 product photo Primary L

Gasket-Sert™ PSP Filter

Gasket-Sert PSP过滤器设计用于保护半导体气体分散系统所用气体显示屏的主要部件。 • 真正的在线设计且易于安装 • 对准固定器简化安装 • 适于替代标准1⁄4英寸VCR1或1⁄4英寸UJR相容性垫片 • 可兼容各种工艺气体 • 低压差 • 全316L不锈钢结构 • 高纯氮气干燥 • 洁净室封装 • 无滞留体积 • 无超过背景的颗粒 • 不需滤壳 • 改造现有屏不需重构系统 • 零位移 • 保护稳压器和MFC 1 VCR是Swagelok公司的商标。


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描述

Gasket-Sert PSP过滤器设计用于保护半导体气体分散系统所用气体显示屏的主要部件。 • 真正的在线设计且易于安装 • 对准固定器简化安装 • 适于替代标准1⁄4英寸VCR1或1⁄4英寸UJR相容性垫片 • 可兼容各种工艺气体 • 低压差 • 全316L不锈钢结构 • 高纯氮气干燥 • 洁净室封装 • 无滞留体积 • 无超过背景的颗粒 • 不需滤壳 • 改造现有屏不需重构系统 • 零位移 • 保护稳压器和MFC 1 VCR是Swagelok公司的商标。

规格

 

材料

  • 滤膜和垫片:316L不锈钢

滤除精度

  • ≥4μm者的效率为99.9%

工作条件

  • 建议流量范围:0-28slpm/0-1scfm
  • 最高工作温度:
    • 惰性气体:300°C/572°F
    • 无水腐蚀性气体:30°C/86°F
  • 最大压差:
    • 由内向外:
      690kPa@20°C/100psid@68°F
    • 由外向内:
      1380kPa@20°C/200psid@68°F

性能

压降与气体流量

Pressure Drop vs. Gas Flow Rate

Pressure Drop vs. Gas Flow Rate

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

工艺气体过滤、工艺气体过滤

订购信息

 

 

部件编号

构成材质

配件类型

CNF1104USG4

全316L不锈钢

14英寸VCR或14英寸UJR

单位换算:1巴=100千帕

 

分类信息

光伏、半导体

检查

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