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ChamberKleen™扩散器-NW40/NW50 product photo Primary L

ChamberKleen™ Diffusers - NW40/NW50

ChamberKleen扩散器理想用于短时间内流入大量气体的载量锁定接口或其它真空腔的排气应用中。 特点 • 减少处理腔排气过程中的湍流 • 可提供高压差 • 316L不锈钢外壳 • 可过滤各种气体 • 洁净室生产和包装
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描述

ChamberKleen扩散器理想用于短时间内流入大量气体的载量锁定接口或其它真空腔的排气应用中。 特点 • 减少处理腔排气过程中的湍流 • 可提供高压差 • 316L不锈钢外壳 • 可过滤各种气体 • 洁净室生产和包装

规格

 

 

 

材料
  • 316L SS过滤器和滤壳≤0.51μm/20μin Ra 的润湿表面处理
  • 氟橡胶O型圈

颗粒滤除额定值
  • ≥3nm
  • 背景值以上颗粒分布：75slpm时，颗粒数/（m3或英尺3）≥0.01μm

连接
  • 1/4" 垫圈密封入口（VCR1等）
    I40: NW40 ISO真空法兰*
    I50: NW50 ISO真空法兰*
    *兼容标准ISO舱壁灯

最大排气循环
  • 最大压差时，循环100,000次：20°C时，0.7MPa/68°F时，105psid

工作条件
  • 最大允许压差：20°C时，0.7MPa/ 68°F时，105 psid
  • 最高工作温度：100°C/212°F（限定O型圈）

设计流量
  • 75slpm

 

性能

压降与气体流量

Pressure Drop vs. Gas Flow Rate

压力和腔灌装时间

Pressure vs. Chamber Fill Time

类型

过滤胶囊

用途

过滤, 液体

应用

工艺气体过滤

订购信息

 

 

部件编号

描述

标称直径（D）
（mm/英寸）

标称长度（L）
（mm/英寸）

CK4000I40H

NW40 ISO真空法兰

55/2.16

49/1.93

CK4000I50H

NW50 ISO真空法兰

75/2.95

49/1.93

 

 

分类信息

半导体

检查

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