描述
P Emflon过滤器特别推荐用于与PTFE和高密度聚乙烯（HDPE）相容的光刻胶和化学品的粗滤。另外，它采用颇尔过滤技术的最新技术：月牙形Ultipleat®过滤器结构。
• 具有各种结构
• 大流量
• 完整性可测试
• 低溶出物量
• 优化设计
• 在洁净室环境中生产
• 100%通过完整性测试
规格
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构成材质 |
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部件 |
材料 |
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滤膜 |
PTFE |
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背衬和排液 |
高密度聚乙烯(HDPE) |
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内芯和网罩 |
高密度聚乙烯(HDPE) |
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端盖 |
高密度聚乙烯(HDPE) |
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O型圈选项 |
包封FEP的氟橡胶、硅橡胶、Kalrez1、耐酸氟橡胶和EPDM |
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1Kalrez是杜邦陶氏弹性体弹性体公司的注册商标。 |
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滤除精度和使用条件 |
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滤除精度 |
0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.45μm、5μm、10μm |
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过滤器结构 |
ABD1 |
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标称过滤面积 |
1.1 m2/ 12 ft2 |
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最高使用温度 |
60˚C/140˚F |
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最大前向 |
60˚C时为0.34MPa/140˚F时为49.3psid |
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性能
额定流动特征-1厘泊流体（20℃）
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
化学品、湿法蚀刻和清洗
订购信息
部件编号/订购信息
ABD[1] UF[2][3] E [4]
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表1 |
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代码 |
标称滤芯长度（L） |
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1 |
254mm/10英寸 |
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2 |
508mm/20英寸 |
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3 |
762mm/30英寸 |
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表2 |
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代码 |
滤除精度 |
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D |
0.05μm |
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T |
0.1μm |
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R |
0.2μm |
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x |
0.45μm |
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C |
5μm |
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E |
10μm |
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表3 |
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代码 |
O型圈规格 |
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3 |
AS568A-222 |
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7 |
AS568A-226 |
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8 |
AS568A-222 |
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表4 |
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代码 |
O型圈材料 |
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H1 |
包封FEP的氟橡胶 |
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H4 |
硅橡胶 |
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H11 |
Kalrez |
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HF |
耐酸氟橡胶 |
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J |
EPDM |
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代表性部件编号示例
ABD1UFC3EJ
ABD1UFR3EH1
ABD1UFT3EH1
ABD1UFT7EH1
ABD1UFT8EH1
ABD1UFD3EH1
ABD1UFD7EH1
ABD1UFD8EH1
分类信息
半导体、数据存储
检查
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