CMPure CMPD系列筒式过滤器 product photo Primary L

CMPure CMPD Series Filter Cartridges

CMPure CMPD高级熔吹筒式深滤器专门优化用于CMP粉浆系统,可产生高度稳定和可重复的过滤性能。CMPD过滤器采用我们专有的CoLD过滤器熔吹技术,该技术可将同位粗径纤维集成在细纤维基材中,产生刚性的滤芯结构网络。因此,CMPD过滤器具有出色的结构强度,卓越的耐污染物脱落性能和格外长的使用寿命。 • 全聚丙烯构造 • 连续梯度微孔结构,用于内置预滤 • 可用于金属(钨、铜、铝)、氧化物和STI粉浆 • 还可用作一次性囊式过滤器


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描述

CMPure CMPD高级熔吹筒式深滤器专门优化用于CMP粉浆系统,可产生高度稳定和可重复的过滤性能。CMPD过滤器采用我们专有的CoLD过滤器熔吹技术,该技术可将同位粗径纤维集成在细纤维基材中,产生刚性的滤芯结构网络。因此,CMPD过滤器具有出色的结构强度,卓越的耐污染物脱落性能和格外长的使用寿命。 • 全聚丙烯构造 • 连续梯度微孔结构,用于内置预滤 • 可用于金属(钨、铜、铝)、氧化物和STI粉浆 • 还可用作一次性囊式过滤器

规格

材料

  • 滤材:聚丙烯
  • 内芯、网罩和端盖:聚丙烯
  • O型圈选项:EPDM、氟橡胶1

滤除精度

  • 0.5 μm、1.5 μm、2 μm、5 μm、10 μm、15 μm、20 μm、30 μm和50 μm

结构

  • 标称长度:
    • 102mm/4英寸
    • 254mm/4英寸
    • 508mm/20英寸
    • 762mm/30英寸
    • 1016mm/40英寸
  • 直径:66mm/2.6英寸

工作条件

  • 最高温度:82°C/180°F
  • 最大压差:
    • 30°C时4MPa/86°F时60psid
    • 66°C时2MPa/150°F时30psid
    • 82 °C时1MPa/180 °F时15psid

性能

压降及介质流量2

Pressure Drop vs. Liquid Flow Rate

2对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。

类型

滤筒

用途

过滤,  液体

订购信息

本信息是部件编号结构和可选择项的指示说明。有关特定选项是否可选和滤壳详情,请联系颇尔。
部件编号示例:CMPD 10 4 U H21 F(参见下表所示的粗体参考信息)
部件编号:
CMPD <表1中的滤除精度代码> <表2中的标称长度代码> <表3中的构成材料代码> <表4中的滤芯端盖结构代码> <表5中的O型圈材料代码>


表1-滤除精度

代码
滤除精度(μm
0.5 0.5
1.5 1.5
2 2
5 5
10 10
15 15
20 20
30 30
50 50

表2-标称长度

代码 标称长度(英寸/mm
4 4 / 102
10 10 / 254
20 20 / 508
30 30 / 762
40 40 / 1016

表3-构成材料

代码 构成材料
U Polypropylene

表4-滤芯端盖结构

代码 滤芯端盖结构
M3 SOE flat closed end, 222 O-rings
H21 Double open end, santoprene1 gasket seal

表5-O型圈材料

代码 O型圈材料
E EPDM
F Teflon1 Encapsulated Viton A
V Viton A

由于CMP中配方的不断变化以及工艺改进,有关最新适用的过滤建议,包括<0.5μm深滤器以及不同长度的滤芯,请联系颇尔微电子进行咨询。
这些滤芯还可选一次性囊式结构,具体参见Kleen-Change®串联囊式过滤器的规格。

1TeflonViton是杜邦公司的商标。

单位转换:1巴=100千帕

 

分类信息

半导体

检查

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