CMP StarKleen™纳米囊式过滤器 product photo Primary L

CMP StarKleen™ Nano Filter Capsules

CMP StarKleen™纳米囊式过滤器开发用于分类高级CMP工艺所用工具上或周围的铈土和低固硅溶胶粉浆,例如浅沟槽隔离(STI)和防渗铜。采用颇尔最先进的熔吹工艺生产极细纤维,提高100nm精细颗粒的滤除效率。超细纤维基材理想用于滤除铈土等颗粒,主要通过筛滤等机械过滤机理进行捕获。 • 多区微孔结构可优化效率并延长使用寿命 • 采用完全一次性的紧凑型全聚丙烯材料,配有易于更换的Flaretek1接头。排气和排液可配备NPT或Flaretek配件。 • 各区按既定规格生产,可确保性能的稳定性和可重复性。 • 陡峭效率曲线最大程度地避免带走所需粉浆颗粒,同时可明显提高过大尺寸颗粒清除率。 1 Flaretek是Entegris公司的商标


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描述

CMP StarKleen™纳米囊式过滤器开发用于分类高级CMP工艺所用工具上或周围的铈土和低固硅溶胶粉浆,例如浅沟槽隔离(STI)和防渗铜。采用颇尔最先进的熔吹工艺生产极细纤维,提高100nm精细颗粒的滤除效率。超细纤维基材理想用于滤除铈土等颗粒,主要通过筛滤等机械过滤机理进行捕获。 • 多区微孔结构可优化效率并延长使用寿命 • 采用完全一次性的紧凑型全聚丙烯材料,配有易于更换的Flaretek1接头。排气和排液可配备NPT或Flaretek配件。 • 各区按既定规格生产,可确保性能的稳定性和可重复性。 • 陡峭效率曲线最大程度地避免带走所需粉浆颗粒,同时可明显提高过大尺寸颗粒清除率。 1 Flaretek是Entegris公司的商标

规格

 

材料

  • 滤材:聚丙烯
  • 内芯、网罩:聚丙烯
  • 壳体:聚丙烯

滤除精度

  • 100nm

工作条件2

  • 最大工作压力:25°C时为0.5Mpa/77°F时为72.5psig
  • 最大工作压力:40°C时为0.2Mpa/104°F时为29psig
  • 最高工作温度:40°C/104°F

连接

  • 进口/出口:
    1/4" NPT、3/8" NPT、1/4" Flaretek、3⁄8" Flaretek
  • 排气/排液:
    1/8"  NPT、1/4" NPT、1/4"  Flaretek

 


1Flaretek是Entegris公司的商标
2 使用不会使过滤器性能或其构成材料发生软化、膨胀或其它不利影响的相容性流体。

尺寸

性能

压降与介质流量3



3对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。

类型

囊式过滤器

用途

过滤,  液体

订购信息

部件编号/订购信息

 

部件编号

滤除精度

连接
进口、出口/排气、排液

标称长度
mm/英寸)

DFA4201NP100

100nm

1/4" NPT/1/8" NPT

114.55/4.51

DFA1NP100FL4N2

100nm

1/4" Flaretek/1/8" NPT

114.55/4.51

DFA2NP100F64

100nm

3/8" Flaretek/1/4" Flaretek

213.40 / 8.4

 

分类信息

半导体

检查

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