描述
CMP StarKleen囊式过滤器设计用于过滤化学机械抛光（CMP）所用工具上或周围的氧化物和金属（包括铜）粉浆。
• 完全一次性的紧凑型全聚丙烯囊式过滤器配有易于更换的Flaretek1接头。排气和排液可配备NPT或Flaretek配件。
• 囊式过滤器包含深滤或折叠型Profile®滤芯。Profile Star过滤器采用相对较深和较宽的折叠，可轻松处理含有高悬浮固体的流体。这种设计产生的压差小，可最大程度地减轻剪切并提供较长的使用寿命。
• 这些深滤器采用内置预滤的独特结构，可确保较长使用寿命，既不会突破污染物，也不会使滤膜脱落。
• Profile深滤器在输送原粉浆颗粒与清除凝胶和聚集物之间形成清晰边界。
1 Flaretek是Entegris公司的商标
规格
材料
- 滤材：连续聚丙烯纤维
- 内芯、网罩：聚丙烯
- 壳体：聚丙烯
滤除精度
- 2μm、3μm、0.5μm、1μm、1.5μm、3μm和5μm
（Profile滤膜滤除精度可以比深滤器的传统精度高5-10倍。）
工作条件
- 最大压力：77°F时为75psi/25°C时为5巴
- 最大压差：77°F时为45psi/25°C时为3巴
- 最高温度：30psi时为100°F/2巴时为40°C
连接
- 进口/出口：3⁄8英寸Flaretek
- 排气/排液：1⁄4英寸Flaretek或1⁄4英寸NPT
1Flaretek是Entegris公司的商标
性能
压降及介质流量1
1对于粘度不同于水的液体，压降应乘以粘度（厘泊）。
类型
囊式过滤器
用途
过滤, 液体
应用
CMP
附加信息
尺寸
订购信息
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部件编号 |
滤除精度（μm） |
排气/排液连接 |
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DFA2Y005F64 |
0.5 |
1⁄4英寸Flaretek |
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DFA2Y005F6N4 |
0.5 |
1⁄4英寸NPT |
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DFA2A010F64 |
1 |
1⁄4英寸Flaretek |
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DFA2A010F6N4 |
1 |
1⁄4英寸NPT |
|
DFA2A015F64 |
1.5 |
1⁄4英寸Flaretek |
|
DFA2A015F6N4 |
1.5 |
1⁄4英寸NPT |
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DFA2A030F64 |
3 |
1⁄4英寸Flaretek |
|
DFA2A030F6N4 |
3 |
1⁄4英寸NPT |
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DFA2A050F64 |
5 |
1⁄4英寸Flaretek |
|
DFA2A050F6N4 |
5 |
1⁄4英寸NPT |
单位转换：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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