描述
CMP Profile II囊式过滤器设计用于过滤化学机械抛光（CMP）工具的氧化物和金属粉浆。
• 这种完全一次性的紧凑型囊式过滤器包括一个全聚丙烯Profile II滤芯，装在热焊接聚丙烯壳中。
• Profile II滤芯是一类技术先进的深滤器，具有绝对滤除精度。其采用内置预滤的独特结构，可确保较长使用寿命和稳定的高水平性能，既不会突破污染物，也不会使滤膜脱落。
• 囊式过滤器提供1µm到70µm的绝对滤除精度，因此可选择该设备匹配CMP粉浆范围。
• CMP囊式过滤器滤留聚集的材料和杂质，未显示会改变粉浆抛光特性。
规格
材料
- 滤材：连续聚丙烯纤维
- 内芯：聚丙烯
- 壳体：聚丙烯
滤除精度
- 1μm、3μm、5μm、10μm、20μm、40μm和70μm
（Profile过滤器滤除精度比深滤器的传统精度高5-10倍。）
工作条件1
- 最大压力：
- 100°F/40°C时为100psid/7巴
- 最大压差：
- 77 °F/25 °C时为60psid/4巴
- 140 °F/60 °C时为30psid/2巴
- 最高温度：
- 60psi/4巴时为140°F/60°C
连接
- 进口/出口：1⁄4英寸NPT
1建议基于在水中的长期试验。使用前，必须检查与其它流体的相容性。
性能
CMP囊式过滤器压降2
2对于粘度不同于水的液体，压降应乘以粘度（厘泊）。
类型
囊式过滤器
用途
过滤, 液体
应用
CMP
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
滤除精度（μm） |
连接 |
|
CMPY1NN04 |
1 |
1⁄4英寸NPT |
|
CMPY1PN04 |
3 |
1⁄4英寸NPT |
|
CMPY050N04 |
5 |
1⁄4英寸NPT |
|
CMPY100N04 |
10 |
1⁄4英寸NPT |
|
CMPY200N04 |
20 |
1⁄4英寸NPT |
|
CMPY400N04 |
40 |
1⁄4英寸NPT |
|
CMPY700N04 |
70 |
1⁄4英寸NPT |
单位转换：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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