描述
Emflon® PF过滤器是一种全氟聚合物折叠过滤器，设计用于过滤≤3nm散装侵蚀性工艺气体。
• 全氟聚合物结构
• 可选5英寸、10英寸、20英寸和30英寸结构
• 高温和高压能力
• 优化滤芯设计
• 高流速与压差比
• 在洁净室环境中生产
• 100%通过完整性测试
规格
构成材质
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部件 |
材料 |
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滤膜 |
PTFE |
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滤膜背衬 |
PTFE |
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内芯、网罩和端盖 |
PFA |
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密封方法 |
熔体密封 |
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O型圈 |
包封FEP的氟橡胶 |
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结构 |
AB1 |
AB04 |
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标称过滤面积 |
0.56m2/6英尺2 |
0.24m2/2.6英尺2 |
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标称长度 |
254mm/10英寸 |
102mm/4英寸 |
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直径 |
70mm/2.75英寸 |
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O型圈尺寸/端盖 |
代码3（222双O型圈/平端） |
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滤除精度 |
≥3nm |
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最高工作温度 |
185˚C/365˚F |
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最大前向压差 |
50˚C时为0.69MPa/120˚F时为100psid |
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性能
压降与气体流量
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤、气体过滤
应用
工艺气体过滤、工艺气体过滤
订购信息
部件编号/订购信息
AB[1][2][3] E[4]
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表1 |
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代码 |
滤芯长度1（标称） |
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1 |
254mm/10英寸 |
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04 |
102 mm/4英寸 |
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表2 |
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代码 |
滤除精度 |
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F002 |
≥3nm |
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表3 |
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代码 |
O型圈规格 |
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3 |
AS568A-222 |
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15 |
AS568A-226 |
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表4 |
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代码 |
O型圈材料1 |
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H1 |
包封FEP的氟橡胶 |
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1可选其它长度和O型圈材料。 |
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代表性部件编号示例
AB04F0023EH1
AB1F00215EH1
分类信息
光伏、半导体、显示器
检查
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