Gaskleen® II EL净化器组件 product photo Primary L

Gaskleen® II EL Purifier Assembly

Gaskleen® II EL净化器组件 颇尔Gaskleen II EL净化器组件设计用于清除许多工艺气体中的分子污染物。可在高达30slpm的流量下实现ppb水平的净化,短时间最高可达到50slpm1,并可清除≥3纳米(nm)的颗粒。 • 控制并清除例如水分、氧气、二氧化碳、非甲烷烃、羰基金属和硅烷等杂质 • 316L不锈钢滤壳 • 净化各种气体 • 100%氦气泄漏和压力测试 • 对取向不敏感 • 使用HCLP材料时,在盐酸气体中未检测到超出背景的金属 • 使用HBRP材料时,在溴化氢气体中未检测到超出背景的金属


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描述

Gaskleen® II EL净化器组件 颇尔Gaskleen II EL净化器组件设计用于清除许多工艺气体中的分子污染物。可在高达30slpm的流量下实现ppb水平的净化,短时间最高可达到50slpm1,并可清除≥3纳米(nm)的颗粒。 • 控制并清除例如水分、氧气、二氧化碳、非甲烷烃、羰基金属和硅烷等杂质 • 316L不锈钢滤壳 • 净化各种气体 • 100%氦气泄漏和压力测试 • 对取向不敏感 • 使用HCLP材料时,在盐酸气体中未检测到超出背景的金属 • 使用HBRP材料时,在溴化氢气体中未检测到超出背景的金属

规格

 

材料

  • 外壳:电解抛光316L不锈钢
  • ≤0.25μm/10微英寸Ra内表面处理
  • 外壳满足或超过VIM/VAR规范要求

额定颗粒滤除效率

  • 在高达50slpm下,109清除≥3nm的颗粒

接头

  • ¼”垫片密封件,凸/凸(VCR3或相容)

工作条件

·        

    • 最大工作压力:100°C时为6.9Mpa/212°F时为1,000psig
    • 最高使用温度:100°C/212°F(INP、SIP、FCP、SF6P)、40°C/104°F(GEH4P、OXP、CLXP、HCLP、HBRP、CDAP)
    • 欧洲压力设备指令:总成符合欧盟压力容器指令2014/68/EU要求并经过CE热证

包装

·        

    • 双层包装
    • 铝箔外袋、聚乙烯内袋
    • 端部配件使用金属垫片和盖密封
    • 产品包装在氩气氛中

1如欲了解更多信息,请联系颇尔微电子。
2颗粒精度基于NaCl气溶胶的实验室测试结果。
3VCR是Swagelok公司的商标。

 

类型

净化器

用途

气体过滤和净化

应用

工艺气体净化、工艺气体净化

附加信息

 

技术信息

如特定气体中测试中的测试清除杂质

特定气体

杂质滤除效率

惰性气体:氮、氩、氦、氙、氪和氖

根据使用APIMS分析仪在氩气和氮气中的测试结果,<1ppb的H2O、CO2、O2和CO

可燃气体:硅烷、氢、甲烷、乙烷、环丙烷、丙烷、二甲醚、乙烯、丙烯和羰基硫

根据使用APIMS分析仪在氩气和氮气中的测试结果,<1ppb的H2O、CO2、O2和CO

根据使用微量水分分析仪在一氧化碳中的测试结果,<1ppb的H2O

根据使用APIMS在硅烷中的测试结果,可将H2O和硅烷降至痕量水平

一氧化碳

根据使用GC-ECD分析仪在一氧化碳中测试结果,<1ppb的Ni(CO)4<10ppb、Fe(CO)5

氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟乙烷、五氟乙烷、七氟丙烷、四氟化碳、全氟丙烷、八氟环丁烷、六氟乙烷

根据使用APIMS分析仪在氩气和氮气中的测试结果,<1ppb的H2O、CO2、O2和CO

根据使用微量氧气分析仪在三氟甲烷中的测试结果,<1ppb的O2

根据使用微量水分分析仪和FTIR在三氟甲烷中的测试结果,<10ppb的H2O

锗烷

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果,<1ppb的H2O、CO2和O2

六氟化硫

根据在氩气和氮气中的测试结果,<1ppb的H2O、CO2、O2和CO

含氧气体:二氧化碳、氧气和一氧化二氮

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果,<1ppb的H2O和CO2

含氯气体:三氯化硼、氯、三氯甲硅烷和二氯甲硅烷

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果,<1ppb的H2O和CO2

氯化氢

根据使用CRDS在氯化氢中的测试结果,<15ppb的H2O

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果,<1ppb的H2O

溴化氢

根据使用CRDS在溴化氢中的测试结果,<50ppb的H2O

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果,<1ppb的H2O

光刻法清洁干燥空气

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果,<1ppb的H2O
根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果,<300ppt的C4H8
根据使用离子色谱仪在氮气中的测试结果,<10ppt的SO2
根据使用离子色谱仪在氮气中的测试结果,<15ppt的NH3
根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果和基线减法,<1ppt的HMDSO


尺寸



订购信息

 

部件编号/订购信息

部件编号规范

特定气体

出气杂质规格

GLP6INPVMM4

惰性气体:氮、氩、氦、氙、氪和氖

H2O、CO2、O2和CO<1ppb

GLP6SIPVMM4

可燃气体:硅烷、氢、甲烷、乙烷、环丙烷、丙烷、二甲醚、乙烯、丙烯、羰基硫和一氧化碳

<1ppb的H2O、CO2、O2、CO
<1ppb的H2O、O2、CO2和Fe(CO)5,<10ppb的Ni(CO)4

GLP6FCPVMM4

氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟乙烷、五氟乙烷、七氟丙烷、四氟化碳、全氟丙烷、八氟环丁烷、六氟乙烷

<1ppb的H2O、CO2、O2

GLP6GEH4PVMM4

锗烷

<1ppb的H2O、CO2、O2、CO

GLP6SF6PVMM4

六氟化硫

<1ppb的H2O、CO2、O2、CO

GLP6OXPVMM4

含氧气体:二氧化碳、氧气和一氧化二氮

<10ppb的H2O

GLP6CLXPVMM4

含氯气体:三氯化硼、氯、三氯甲硅烷和二氯甲硅烷

<100ppb的H2O

GLP6HCLPVMM4

氯化氢

<15ppb的H2O

GLP6HBRPVMM4

溴化氢

<50ppb的H2O

GLP6CDAPVMM4

光刻法清洁干燥空气

<1Ppb的水、
<300ppb的有机物(例如C4)、
<10ppt的酸性气体(例如SO2
<15ppt的碱性气体(例如NH3
<1ppt的难熔化合物(例如HMDSO)

 

分类信息

光伏、半导体、显示器

检查

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