描述
IonKleen AQHT净化器专门设计用于清除超纯热水中的金属离子。它理想适用于半导体工业最关键的终洗工艺。
IonKleen AQHT净化器膜经过改性处理并在膜表面加入离子交换基团，从而可使净化器直接自动清除超纯热水中的金属。
净化器可选标准过滤器结构。
特性和优势
• 在高纯热水中具有优异的金属清除效率
• 洗净化器的初始清洗可最大程度缩短清洗时间
• 简化净化技术
• 对金属离子具有高容量
• 在洁净室环境中生产
规格
材料
- 滤材：亲水性超高分子量聚乙烯（UHMWPE）
- 内芯、网罩、端盖；背衬和排液：聚丙烯
- O型圈选项：EPR。包封FEP的氟橡胶、Kalrez1、耐酸氟橡胶和硅橡胶
结构
- 标称长度：
- AB1：254mm/10英寸
- AB2: 508mm/20英寸
- AB3: 762mm/30英寸
- 标称直径：
- 70mm/2.75英寸
O型圈尺寸/端盖：
- 代码3：222双O型圈/平端
- 代码7：226双O型圈/卡销/翼端
- 代码8：222双O型圈/翼端
工作条件
- 最高工作温度：85°C/ (185°F)2
- 最大前向压差：34MPa/50psi
性能特性
- 总金属离子交换容量3AB1：大于41meq
- AB1最大建议流量：<30升/分钟
- 最长使用寿命：6个月
建议应用
- 建议将IonKleen AQHT净化器用于清除热冲洗水中的痕量金属离子。
1Kalrez是DuPont高性能弹性体公司的注册商标。
2用于溶解氧浓度为²10ppb时。
3在额定进液浓度不超过1ppb的情况下，使用混合离子激发测定效率通常>90%，包括Na、Fe、Cu、Ca、Al和Zn。
性能
压降与流体流量：AB1型过滤器
类型
净化器
用途
纯化
应用
超纯水、湿法蚀刻和清洗
订购信息
部件编号/订购信息
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部件编号 |
标称长度（mm/英寸） |
结构代码 |
O型圈接头4 |
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AB1HUPW7EH1 |
254/10 |
7 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB1HUPW8EH1 |
254/10 |
8 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB1HUPW3EH1 |
254/10 |
3 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB2HUPW7EH1 |
508/20 |
7 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB2HUPW8EH1 |
508/20 |
8 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB2HUPW3EH1 |
508/20 |
3 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB3HUPW7EH1 |
762/30 |
7 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB3HUPW8EH1 |
762/30 |
8 |
包封FEP的氟橡胶 |
|
AB3HUPW3EH1 |
762/30 |
3 |
包封FEP的氟橡胶 |
4特殊订单可选其它O型圈材料。
分类信息
半导体、数据存储
检查
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